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气压烧结炉遇到这些情况怎么应急
2021-02-22

气压烧结炉重点用于半导体元器件和电力整流器件的烧结工艺,可完成真空烧结,气体保护烧结和常规烧结等烧结工艺,是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺设备,它的构造大方,操作容易,在一台机器上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。下面咱们来看看气压烧结炉遇到以下三种情况可以采取的应急措施。

一、遇到停电

1、遇到停电时,假若断水,应马上接通备用的冷却水,接通水源。

2、假若在非升温、加热和冷却时,可以尽快恢复时,重新启动机器,继续运转如需要较长时间,则将机器保持原状。

3、假若正在加热和冷却时,可以尽快恢复时,重新启动机器,假若需要较长时间时,则保持原状,让机器自然冷却下来。

二、加热电源掉电

1、水压低,当水压低于0.15MPa,压力表报警。

2、接地故障。

3、真空放电,水冷电极接头与加热器连接处必须连接牢固,与反射屏绝缘要好。

4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源发生故障,掉电的原由可以认为是由于电介质击穿而引起的放电。

三、充气气体停止

1、抽真空开始前,气体充入时间长或者无法充入时,请确认气体管路是否被堵塞。

2、如气体管路没问题,检查电磁阀和气体充气阀的动作,为了安全与其相关联的设备要全部停止后再完成检查。

3、向真空室内充气不能停止的情况下,泄压阀动作如泄压阀动作时,要关闭气体供给阀和配管在内的所有气体系统。

4、确认气体充气配管是否有漏气的地方,如有会影响制品质量。


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