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应用与工艺评审

半导体与电子信息材料

服务电子陶瓷、靶材、难熔金属、封装组件、功率器件和微通道热管理结构的洁净烧结与精密连接。

半导体与电子信息材料应用场景

工艺背景

材料挑战与设备评审重点

典型应用包括氮化铝和氮化硅电子陶瓷烧结、溅射靶材致密化、陶瓷与金属封装、功率器件基板、微通道冷却板及高纯石墨工装处理。方案评审重点是污染控制、真空与气体纯度、界面气密性、温度均匀性和过程数据留存。

典型材料

氮化铝与氮化硅溅射靶材难熔金属陶瓷/金属封装微通道与液冷板高纯石墨工装

典型应用

电子陶瓷烧结溅射靶材致密化功率器件基板与封装微通道液冷板连接

建议评审系列

SPSHP 真空热压炉气压烧结炉氢气炉真空钎焊炉真空扩散焊接系统

工艺关注点

洁净烧结电子陶瓷致密化气密封装微通道连接污染与气氛控制

计划验证

把工艺假设转化为可记录、可验收的项目内容

建议在选型阶段明确以下验证要点,以便形成可执行的设备方案、测试计划与验收标准。

01

温度和测量方法

02

压力或载荷记录

03

真空与气氛条件

04

工件尺寸和装料

05

样件及验收口径

需要针对实际工件评审配置?

请提供材料、目标温度、压力或载荷、真空与气氛、工件尺寸、装料方式、产能和项目阶段。

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