工艺背景
材料挑战与设备评审重点
典型应用包括氮化铝和氮化硅电子陶瓷烧结、溅射靶材致密化、陶瓷与金属封装、功率器件基板、微通道冷却板及高纯石墨工装处理。方案评审重点是污染控制、真空与气体纯度、界面气密性、温度均匀性和过程数据留存。
典型材料
氮化铝与氮化硅溅射靶材难熔金属陶瓷/金属封装微通道与液冷板高纯石墨工装
典型应用
电子陶瓷烧结溅射靶材致密化功率器件基板与封装微通道液冷板连接
建议评审系列
SPSHP 真空热压炉气压烧结炉氢气炉真空钎焊炉真空扩散焊接系统
工艺关注点
洁净烧结电子陶瓷致密化气密封装微通道连接污染与气氛控制