工艺指南
真空与可控气氛热处理配置指南
真空水平、泄漏率、气体纯度、流量、过程压力、冷却和安全联锁共同影响氧化、脱气、还原、烧结与组织控制。
真空与气体都是工艺变量
真空度不能脱离材料、温度、蒸气压、热场和密封状态单独比较。惰性气体、氢气或其他工艺气体的纯度、流量和过程压力同样会影响污染、氧化还原、挥发和最终重复性。
先定义材料和气氛边界
准备材料、最高温度、目标真空、工作气体、气体纯度、是否需要分压或流动气氛、污染敏感性、工件尺寸、批量和循环时间。特殊气体还需要说明安全和排放要求。
评审真空、气路、冷却和联锁
泵组与阀门、真空测量、充放气、流量与压力控制、冷却回路、气体探测、排放和故障联锁应形成完整逻辑。H 系列氢气工艺必须按项目明确安全边界。
用记录和测试确认配置
项目可按约定记录真空曲线、温度曲线、气体压力或流量、程序步骤、报警和联锁测试。空炉指标与实际负载工艺结果应采用不同口径表述。